金融界2024年11月23日音讯,国家知识产权局信息数据显现,中环抢先半导体科技股份有限公司获得一项名为“硅片兼并组织”的专利,授权公告号CN 222029049 U,请求日期为2024年2月。
专利摘要显现,本实用新型硅片兼并组织,包含伺服模块,伺服模块经过衔接模块衔接整理洗刷设备的气动部件;伺服模块合作进行整理洗刷设备的气动部件的缓冲操控,在伺服模块检测到整理洗刷设备的气动部件发生瞬时窜动,对应的进行整理洗刷设备的气动部件的伺服驱动以对应缓冲,构成防止构成硅片倒片的整理洗刷设备的气动部件缓冲结构。